EBSD海报所用的素材收集。
注:图片的主要来源(牛津仪器)没有注明对应的文章,所以也无法引用了。
资料
原理
1、EBSD
《电子背散射衍射技术及其应用》杨平 经典教材
电子背散射衍射 (EBSD) - 牛津仪器 [1] 图文并茂,非常详实
YouTube [2] 共4个视频,上面文章的省流版
2、菊池线
透射电镜(TEM)基础知识系列——菊池花样|知乎 [3] 中材检测中心的TEM系列,帮助理解菊池线
1、EBSD直接得到的图像:菊池线 Kikuchi bands

菊池线的形成,需要足够厚样品上的漫散射电子与晶体平面发生布拉格衍射:

上图将菊池线的产生过程表示得较为直观、完整:漫散射电子与(hkl)成角,
Hough transform: 笛卡尔坐标转换为极坐标表示
2、文献中说的EBSD map则通常指orientation map,即取向图。

Display Microstructure
-
微观组织表征
- 相鉴定
- 相分布
- 晶粒尺寸数据
- 晶界表征
- 织构(晶体择优取向的程度)
- 局部应变变化
1、Phase 相
Phase Maps 相图
确定各相分布情况以及所占的比例 Determine phase distribution and phase fraction

图中双相钢包含奥氏体(蓝色)、铁素体(红色)相、金属间化合物σ相(绿色)和χ相(黄色),各相占比影响钢的机械性能、耐腐蚀性。
2、Grain 晶粒

定义临界取向角,使所有角度高于该定义临界角的边界段均视为晶界 Define a critical disorientation angle, so that all boundary segments with an angle higher than this defined critical angle are considered grain boundaries.
分析软件:AZtecCrystal
得到:
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Grain size 晶粒尺寸
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Grain shape / morphology 晶粒形状
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Grain average orientation 晶粒平均取向
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Grain internal orientation variation 晶粒内部取向分布
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Fraction of twinned grains 孪晶比例
3、Boundaries 晶界

画出Disorientation angle frequency distribution,识别出不同类型的晶界
得到:
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Boundary disorientation 晶界取向
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Boundary rotation axes 晶界旋转轴
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Boundary traces 晶界轨迹
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Special boundary identification 孪晶等特殊
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Full boundary length statistics 晶界长度
4、Orientation 取向
取向标定
教材P119-123
TEM的取向标定:样品表面和投影屏幕平行
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测3个菊池带(对应晶面指数),计算出其相交处也即晶带轴的晶向指数 叉乘计算:
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测量菊池极间距,算出晶带轴间夹角,调整第一步的晶向指数之比例常数,使其算出的(自洽原则定出唯一的晶向指数)
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量出菊池极与屏幕中心的距离,计算 ,算出样品法向的晶向指数。
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计算样品轧向
SEM的取向标定:考虑样品旋转(70°)、屏幕与电子束平行,此时二者成20°,做坐标变换。
Pole Figures 极图

用于直观展现对称性(分布)、择优取向(深浅)。
e.g.1 以表面法向ND为Z轴,轧制方向RD方向为X轴,横向TD方向为Y轴,多数晶粒以<100>取向落在RD方向时,X轴方向上的落点密集,说明X方向上存在择优取向。
e.g.2 图中{110}方向存在择优取向。
Inverse Pole Figures 反极图

三个正交方向上,重要晶向的晶粒分布图。
Orientation Distribution Functions 取向分布函数

取向分布函数可以理解为具有特定取向的晶粒所占的体积分数。
ODF(,Intensity/Percentage) 三个是欧拉角
Orientation Maps 取向图
原理部分已有说明。
5、Strain 应变

所需数据:
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Local crystal lattice orientation gradient 局部晶体晶格取向梯度
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Dislocation densities 位错密度
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Intragranular orientation deviation 颗粒内部的取向偏差
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Intragranular orientation spread 颗粒内部的取向扩散
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Distribution of low angle boundaries
higher strain -> failure mechanism
技术融合

EDS-EBSD:化学成分差异验证EBSD的结果

FIB-EBSD:3D的EBSD
In-situ EBSD:高温相变观察 hightemp phase transformations

EBSD-ECCI:可控ECCI (先EBSD测量出特定晶粒的取向,计算出理想的满足双束衍射的样品取向,然后得到高对比度差异的位错网络)